洁净室室内空气温度和相对湿度的检测

1室内空气温度和相对湿度测定之前，净化空调系统应已连续运行至少24h。对有恒温要求的场所，根据对温度和相对湿度波动范围的要求，用温湿度计测定宜连续进行8～48h，每次制定间隔不大于30min。
2根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。
3室内测点一般布置在以下各处：
（1）送、回风口处；
（2）恒温工作区内具有代表性的地点（如沿着工艺设备周围布置或等距离布置）；
（3）室中心（没有恒温要求的系统，温、湿度只测此一点）；
（4）敏感元件处。
所有测点宜在同一高度，离地面0.8m。也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。测点距外墙表面应大于0.5m。
4测点数按附表6.4确定。
附表　6.4　　　温度、湿度测点数

洁净室室内噪声的检测

1测噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计。一般只测A声级的数值，必要时测倍频程声压级。
2测点位置：宜按附图6.1的5点设置，面积在15m2以下者，可用室中心1点；测点高度距地面1.1m。

洁净室照度的检测

1室内照度可用便携式照度计测定。
2室内照度必须在室温已趋稳定、光源光输出趋于稳定（新安的日光灯必须已有100h、白炽灯已有10h的使用期；旧日光灯必须已点燃15min，旧白炽灯已点燃5min）后进行。
3洁净室照度只测定除特殊局部照明之外的一般照明。
4测点平面离地面0.8m，按1～2m间距布置，测点距离墙面1m（小面积房间为0.5m）。

洁净室室内微振的检测

1用能满足检测精度要求的振动分析计测定。
2测点选在室中心地面和认为有必要测定振动的位置的地面上，以及各壁板（装配式洁净室则为每一独立壁板）表面的中心处。
3应分别测出室内全部净化空调设备正常运转和停止运转两种情况下X、Y、Z即长轴、横轴和垂直轴三个方向的振幅值，特别注意测定同转动设备的转速相对应的频率下的振幅。

洁净室表面导静电性能的检测

1地面、墙面和工作台面等表面导静电性能应用符合精度要求的高阻计检测。
2在表面上选定的代表区域的两点间检测，可选用附图6.2的测试装置。

室内气流流型的检测

1测点布置：
垂直单向流（层流）洁净室选择纵、横剖面各一个，以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个；水平单向流（层流）洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个，以及距送、回风墙面0.5m和房间中心处等3个横剖面，所有面上的测点间距均为0.2～1m。乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各1个，剖面上测点间距为0.2m～0.5m，水平面上测点间距为0.5～1m。两个风口之间的中线上应有测点。
2测定方法：用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，并在有测点布置的剖面图上标出流向。

洁净室流线平行性的检测

1用单丝线观察送风平面的气流流向，一般每台过滤器对应一个观察点。
2用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度，注意避免人的干扰。

洁净室自净时间的检测

1本项测定必须在洁净室停止运行相当时间，室内含尘浓度已接近大气尘浓度时进行。如果要求很快测定，则可当时发烟。
2如果以大气尘浓度为基准，则先测出洁净室内浓度，立即开机运行，定时读数直到浓度达到最低限度为止,这一段时间即为自净时间如果以人工（如发巴兰香烟）为基准，则将发烟器放在离地面1.8m以上的室中心点发烟1～2min即停止，待1min后，在工作区平面的中心点测定含尘浓度，然后开机，方法同上。
3由测得的开机前原始浓度或发烟停止后1min的污染浓度（NO），室内达到稳定时的浓度（N），和实际换气次数（n）查附图6.3，得到计算自净时间，再和实测自净时间进行对比。